Excimerlaser sind Edelgas-Halogenidlaser, die elektromagnetische Strahlung im ultravioletten Wellenlängenbereich erzeugen. In den Laserröhren befindet sich dabei ein Edelgas (Krypton, Xenon, Argon), das entweder als Dimer vorliegt (Ar2, Xe2, Kr2), oder mit einem Halogenid (meist Fluor, Chlor) zur Reaktion gebracht wird. Einsatzgebiete von Excimerlasern in der Medizin sind die operative Korrektur der Kurzsichtigkeit (PKT) und die Dermatologie. Die ersten Excimerlaser wurden in den 1970er Jahren entwickelt. Excimerlaser arbeiten in der Regel in Pulstakten (100-200 Hz), was dazu führt, dass umgebendes Gewebe kaum erwärmt wird. Mit jedem Puls werden bis zu 2 µm Gewebe abgetragen. Das und der sehr kleine Fokusdurchmesser machen Excimerlaser attraktiv für Anwendungen wie die LASIK.